二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9217452 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款完全自动化的光刻设备,旨在在所有光刻应用中提供精确、清洁和一致的结果。利用先进的成像和处理软件，该系统对包括光刻胶、丙烯酸、PMMA或聚酰亚胺在内的各种类型的光刻胶材料产生一致的结果。该单元使用透镜、衍射光学元件、反射镜、波长滤波器等先进光学元件的组合，创建一个均匀的光束，应用于光敏材料。此应用程序以完全封装基板的方式处理梁,并仅在一秒内创建一个均匀的覆盖层。这样可以确保暴露的材料具有准确且均匀的覆盖范围,从而获得最大的质量和性能。该机先进的空气轴承级刀具提供精确、可重复的运动,最大扫描速度为0.5mm/s。它还提供了对基板温度的实时监测，以确保一致、可重复的结果。此功能进一步减少了所需基板的持续处理所需的时间。此外，这项资产还配备了自动清洗功能。该模型的喷嘴清洁和喷嘴泄漏检测系统确保空气输送系统和喷嘴提供一致的喷雾,从而消除了空气或材料输送错误的可能性。总体而言,TEL Clean Track Lithius是一款先进的精密光刻设备,旨在为所有光刻应用提供一致、可重复的结果。它结合了先进的光学元件、扫描速度和温度控制，提供了适合任何光刻任务的完整解决方桉。此外，它的自动化清洁功能保证了一致、均匀的光束覆盖范围和可靠的基板温度水平。