二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9243664 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款先进的光阻设备，旨在促进半导体生产工艺的晶圆厂效率。它提供了一套功能独特的工具来协助光刻光刻循环的每一步，允许定制每一个过程。该系统简化了制造过程,在不影响质量的情况下缩短了周期时间,从而获得更高产量的结果。TEL Clean Track Lithius unit允许精确控制光刻胶循环，使得每个阶段都能实现无缝光刻工艺。其"自动胶片厚度测量"（FTM）功能可确保光刻胶胶片在整个光刻胶循环过程中具有所需的厚度,从而获得超精确的抗磨胶图样绘制结果。这台机器还提供了先发制人的原位清洁（CIS）功能,可确保光刻胶在成像之前始终处于原始状态。CIS特性在实现最佳光阻粘附和避免胶片粘附损失之间创造了有价值的平衡。此外,该工具还包括一个顶尖的Edge-Tilt补偿（ETC）功能,该功能可快速准确地补偿石刻过程中可能发生的抗蚀性图样位移。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius资产提供的自动化也通过消除人工干预的需要来提高fab吞吐量。集成过程诊断模型（PD）能够检测和消除过程变化,并确保对抗蚀剂盒式磁带进行最佳处理,从而实现更快、更精确的制造结果。总体而言，清洁轨道锂是一种有效和可靠的半导体制造光刻设备。它通过提供对薄膜厚度的精确控制、先发制人的清洁、边缘倾斜补偿和高级工艺诊断来提供一流的光刻效果,同时通过消除手动干预的需要来缩短周期。该系统可确保在整个光致抗蚀剂循环过程中得到一致和可靠的结果。