二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9267952 待售
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已售出
ID: 9267952
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
(2) Coater / (3) Developer system, 12"
Mainframe with controller
(4) FOUPS and Carrier station
SHINWA T&H-ME-1-1AZAZAZ-01 Temperature and humidity controller
SMC INR-244-260A-2 Temperature Controller Unit (TCU)
Coater unit (2-1, 2-2):
(10) Dispense nozzles
With temperature controlled line: HPT 106-2 Pump
PR Suck-back valve type: (20) AMC Suck-back valve
Degasing system for solvent (PCS Pumps)
Programmable side rinse:
PR Nozzle: (10) Bottles
Solvent 1 supply: CCSS
Solvent 2 supply: Local canister tank 1 and 2
Photo resist temperature control system
Direct drain type
Developer unit:
NLD Nozzle
Stream nozzle for DI rinse
Degasing system for developer (PCS Pumps)
Developer supply: CCSS
DIW Supply: CCSS
Developer temperature control system
Direct drain type
Chemical cabinets:
COAT Cabinet
2-DEV Cabinets
AC Power box: 200 / 220 V
Full-load current: 152 Amps
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款功能强大的自动化光刻设备,适合各种应用要求。该系统具有高性能、高效的光刻胶工艺控制和灵活的基板加载/卸载选项。它在批量生产中提供了经济和突出的效果。为确保最佳性能,设备提供自动清洁和干燥过程,以确保最佳效果和效率。该机器采用机器人控制的盒式装载机，可一次精确装卸多达20个晶片。该工具还采用了先进的串联涂层和烘烤技术，以减少所需的手动加工步骤数量。此外,它还具有复杂的缺陷检测和自动调整功能。该资产利用多达六个旋转涂层，这提供了一系列的光刻加工。这些选项包括单层、双面、20 ± 1微米间隙填充、残余膜厚度测量和干洗控制。旋转涂层还包括一个行业标准的图像头，旨在确保最小的死体积和最小的表面缺陷的形成。此外,TEL Clean Track Lithius模型是需要先进模式分辨率的应用的绝佳选择,具有出色的特性控制能力和均匀的基板交付。它具有很高的稳定性和可重复性,可实现有效的批量生产和进一步的成本节约。该设备还提供了一个集成的软件解决方桉，通过图形用户界面管理生产过程。集成软件将手动干预减少到最低限度,并包括一个内部数据库,可帮助管理流程流程。总体而言，TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是满足各种应用要求的理想光刻胶系统解决方桉。提供卓越的工艺时间控制、优异的特性控制能力和卓越的缺陷检测精度。此外,集成软件解决方桉简化了生产过程,并确保了高产量和可重复性。
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