二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9269264 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款光刻设备，旨在为大型集成电路（LSIC）制造和其他相关工艺提供高精度的光刻生产。该系统提供卓越的性能和成本节约,同时降低了污染风险。TEL Clean Track Lithius的主要特点包括高分辨率成像、用于精确迭加配准的自动掩模对准器、确保曝光掩模安全交付的专用单元、用于优化成像的先进光束扫描仪以及用于减少污染可能性的超高功率清洁单元。高分辨率成像功能可提供高达0.5微米的分辨率,并确保最终产生的图像能准确反映过程中使用的掩模。自动掩模对准器设计用于为掩模提供目标电路的精确配准，允许执行高级光刻。专用装置的设计目的是确保安全交付暴露的口罩，确保不在过程中转移不需要的材料。先进的光束扫描仪能够实现最佳的成像性能，而超高功率的清洁机可以减少污染的可能性。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius设计为提供可靠高效的制造工艺，具有广泛的光刻应用。该工具能够生成高分辨率图像并直接暴露于目标基板,确保该过程产生质量结果。此外，先进的光束扫描仪、自动掩模对准器和专用的安全装置都协同工作，提供安全准确的光刻生产。