二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9275995 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款Advanced Photolithography设备，设计用于制造工业规模的高精度电子元件和其他半导体器件。该系统利用优化的光刻胶工艺，生产出市场上最高精度的超高速、清洁切割的器件图桉。光刻单元由光源、图样掩模、透镜、晶圆接收点和光阻层组成。光源（通常是DUV激光器）通过图样掩码投射,图样掩码包含所需的设计图样,并通过透镜定向到晶圆接收点。光敏层由感光材料组成，然后被施加到晶圆接收点上，并从掩模暴露在图样上。一旦暴露于光，光刻胶层会因暴露于从掩模辐射的光而发生物理和化学性质的变化。根据光的强度，光致抗蚀剂要么蒸发，要么以高度精确的图样覆盖晶片表面。光作为催化剂对光刻胶的物理和化学反应，然后允许精确的模式，这是为了创造所需的组件。TEL Clean Track Lithius提供了一系列功能来辅助光刻过程。内控机确保光照最佳，其独特的多功能平台允许多种模式操作。此外,还可以通过使用防故障滤波器来保护光刻胶制图过程,该滤波器可消除电噪声并防止光刻工具受到干扰。总体而言，TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius为制造高精度电子元件和半导体器件提供了可靠有效的方法。其优化的光刻工艺产生精度最高的清洁切割图桉，平台具有先进的保护和控制机制，以保证高质量的效果。Clean Track Lithius结合了多种功能,是任何工业规模元件制造的理想选择。