二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9275998 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款用于高精度半导体加工的光刻设备。该系统由一种称为光刻胶的光敏材料、一个精密清洁单元和一个用于确定晶片确切位置的跟踪机器组成。光致抗蚀剂工具有助于创建准确且尺寸和形状一致的电气元件。该资产利用UV激光器照射施加在晶圆表面上的光敏材料。这个过程根据激光曝光强度改变材料的化学构成。然后将生成的图像用作模板,以蚀刻基础材料。该模型还包括一个清洁设备,它可以去除激光曝光过程后可能仍粘附在基板上的任何光致抗蚀剂。这种清洗系统还防止介电残留物自我重新定位,影响后续电路的模式形成。TEL Clean Track Lithius单元专为高精度光刻而设计,非常适合大体积半导体生产。该机器获取高分辨率和改进对比度的高清图像。它还提供了精确和一致的半导体生产所需的可重复结果。跟踪工具有助于资产准确定位晶片。它还为光束提供反馈,以便在激光曝光期间进行晶圆对准和自动聚焦控制。这样可以确保晶片的确切位置无论外部环境如何都能保持。组合模型为半导体生产提供了高度的可重复性和准确性。精确的激光照射、高效的清洁设备、精确的跟踪是TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius成功的关键因素。该系统已被证明是一种高效可靠的半导体生产光敏装置。
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