二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9294230 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是为先进光刻生产而设计的最先进的光刻设备。它在200 nm至40 µm的基板上提供坚固的性能和可靠性。该系统采用先进的涂层技术,可确保晶片上的抗蚀剂涂层均匀.它还提供了出色的处理层形成和精细的抵抗细节，非常适合临界特征。该装置的自动化机器设计提供了对抗蚀剂分配速率的精确控制，并实现了过程的快速提升和长期稳定运行。单一曝光源可提供从高能量到低能量的多种形状和四种源电源,确保更高的工艺产量和改进的设备性能。TEL Clean Track Lithius配备了多种工具和选项,以确保高效的流程集成。嵌入式缺陷检测工具（EDI）检测表面和嵌入式缺陷,然后在抗蚀剂中进行标记。这种高速、实时的检测旨在保证无缺陷的基板。它还具有前沿诊断功能,无需干扰即可提供详细信息,以适应提高晶圆设计可靠性的工艺条件。该资产还利用先进的等离子体蚀刻技术提供了一个集成蚀刻站，用于抗蚀剂薄膜的直接制图。操作员可以直接从主控制面板访问集成蚀刻工具,从而可以轻松在同一个晶片盒式磁带上运行两个进程。此蚀刻解决方桉功能还提供低污染程度、易于处理和快速晶圆转弯时间。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius为先进的光刻生产提供了一个多合一平台，实现了更高的产量、更高的可靠性和更快的吞吐量。Clean Track Lithius具有传统和创新的功能,为关键光刻应用提供高性能解决方桉。