二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9329259 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是由半导体行业设备的领先制造商TEL开发的先进光刻设备。该系统的设计目的是在光刻胶层上提供精确、高分辨率的图样，使其适用于半导体制造应用。该单元从一个旋转涂层过程开始，在该过程中，光致抗蚀剂材料被应用在一个薄的，均匀层到基板上。这保证了表面被光刻胶材料充分覆盖，同时也创造了材料的均匀薄膜。自旋涂层后，光致抗蚀剂层暴露于光源，以创建所需的图桉。根据光的波长和光致抗蚀剂特性，这一过程可以选择性选择性地去除或交叉连接图样区域内的光致抗蚀剂。下一步利用TEL Clean Track Lithius机器的图样工具，在光刻胶表面上准确地标记图样。此步骤中使用的工具精确度很高，它们可以实现比任何其他可比系统更小的公差。这对于要求高精度、高质量控制的制造应用尤为重要。经过制图过程，光刻胶被开发和蚀刻，形成基板上所需的电路或集成电路。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius工具还提供了一个开发后的检查步骤，用于验证最终电路的质量。这有助于确保达到要求的美学和性能标准。总体而言,Clean Track Lithius是为半导体制造应用创建光刻胶图样的强大而可靠的资产。它在印记设计时提供了高精度,对图样制作过程进行了出色的控制,并提供了额外的验证层以确认成品的质量。通过其使用，制造商可以生产出精确度、可靠性和质量都很好的元件。