二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9351008 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius
ID: 9351008
晶圆大小: 12"
Coater / Developer system Single block, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius是一款以改善精密製造工艺为目标而设计的光致抗蚀剂设备。它结合了一种新颖的化学配方和专门的光学光刻系统,以先进的光刻层创造出超精细的精密图桉。这种先进的装置设计用于在最小的电子元件和芯片制造工艺上实现精确的光刻。TEL开发的光刻机利用了一种定制配制的光敏材料,该材料经过优化,可产生超精细图桉的最高精度。专门配制的材料旨在消除光致抗蚀剂层的微观成分之间发生相声或干扰的任何可能性。此外,光刻工具的部件能够产生比传统系统所能达到的小得多的精密图桉、线条和钻头。这一光刻模型中的光学光刻资产利用了使用短波长(紫外线)激光的自制渐进扫描曝光设备。扫描曝光系统能够以极好的精度创建各种模式。使用短波长激光器,也可以在结构设计层面上创建图样,小于指定的宏观分量。TEL Clean Track Lithius的成像性能也优于其众多竞争对手。它能够在更宽的曝光区域上创建更高分辨率的模式。该单元还提供了广泛的光致抗蚀剂化学物质,用户可以从中选择自定义模式。这台机器使用的所有组件都设计成协同工作,提供统一的锐利和干净的图桉。最后,对光刻工具中使用的化学式进行了优化,以减少表面缺陷,提高斜面产品表面的可靠性。该资产交付的最终产品极其可靠和具有弹性,使其适合在多种应用中使用。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK Lithius photoresist model可以为用户提供一种可靠、精确的制作超精细图桉的方法,精确度极佳,缺陷最小。
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