二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9397044 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius是一种光抗蚀剂设备，通过结合公司专有的TEL Clean Track Lithius技术及其离散导体形成工艺，使具有狭窄宽度和优越频率特性的微量层无空隙形成。该系统采用轻质、低振动的拉丝器，为基板级提供超精密的线性传输。首先，在使用TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius之前，基板涂有一层光致抗蚀剂，然后将其暴露在紫外线下。这允许光刻胶层有选择地硬化，允许根据需要创建图样。之后，该过程的下一步涉及开发图样化的光致抗蚀剂层，使下面的金属基板暴露出来。显影的光致抗蚀剂层起到保护面罩的作用，防止金属在其施加的地方被蚀刻。之后，金属的蚀刻使用基于等离子体的蚀刻单元进行，其中金属表面暴露于氯和氮等气体的组合中。等离子体和蚀刻气体能够有效释放与金属反应性物质反应的高能离子，形成挥发性离子簇，迅速蚀刻掉金属。最后一个过程涉及在蚀刻金属层的表面上沉积一层薄薄的保形绝缘材料。这种绝缘材料具有耐电性，用于电气绝缘，以确保卓越的电气性能。它也阻止了敏感性的发展，消除了噪声。通过光致抗蚀剂、等离子体蚀刻和绝缘沉积的组合使清洁轨迹锂能够产生微米级的跟踪层模式，具有卓越的电性能。这台机器现在被广泛应用于各种电子和光子学应用，包括通信系统中的小型化和高密度互连。