二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9404399 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一种用于生产集成电路器件的光刻设备。该系统允许在半导体材料晶片上对狭窄、精确的特征进行严格的平版印刷。这项技术能够在关键维度上准确传递高分辨率电路模式。该单元由三个主要组件组成：步进/扫描仪、光刻剂轨道/模块和湿式台式模块。步进/扫描仪提供精确指向晶片的严密光源进行阵列设计，并确保光源的正确定位。光致抗蚀剂轨道/模块控制用于在晶圆上创建电路模式的光致抗蚀剂液体的应用。此材料以指定的厚度应用,并且必须符合严格的参数,以确保特征阵列的精度。最后，湿式板凳模块通过光刻胶的固化、蚀刻和其他工艺处理晶片的化学加工，所有这些都以绝对精确的方式进行，以达到预期的效果。为了在晶片上达到最精确的模式，机器必须正确校准。步进/扫描仪必须保持先进且正确对齐,并对所有组件进行故障检查,以确保最佳性能。光刻胶轨道/模块必须保持清洁，不受任何会对光刻胶应用的均匀性产生负面影响的污染物。最后，湿式工作台模块必须保持最佳状态，确保所有储罐和管道没有任何堆积，所有化学品都得到妥善储存和监测。综上所述,TEL Clean Track Lithius是一种三合一工具,能够以尽可能高的精度准确地提供高分辨率的电路模式。这种资产需要高度的维护和适当的校准，以确保所产生模式的准确性。