二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9404400 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius是一种广谱光刻设备,专为各种成像和设备制造应用中的先进光刻工艺而设计。它采用了先进的显微成像系统，以确保高分辨率的清晰、干净的蒙版图像复制品。该单元使用单波长的KrF准分子激光源和不相干成像光学器件的组合，在一定深度和大小范围内实现高分辨率图像。光致抗蚀剂是各向同性和各向异性固定元件的双层。各向同性元素保证了良好的润湿，而各向异性则确保浸入投影在过程中保持良好的分辨率。TEL Clean Track Lithius使用创新的模式设计过程来减少模式偏移误差。该机器包括用于快速和全场扫描、垂直和水平断开扫描以及多层扫描或集成场扫描的选项。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius工具还提供了一种自适应补偿能力，以减少成像过程中非线性所造成的失真。资产的应用程序过程始于photomasking,此过程涉及为每个模式创建掩码图像。然后将此图像传输到光刻胶层,并将其设置在基板上。光线用于减少暴露在光线下的区域,并在遮罩上创建图桉。在暴露光致抗蚀剂层后，会施加一层增强流体，以增强光致抗蚀剂对基材的附着力。最后，采用强烈紫外线的硬化工艺来完成结构。总体而言,Clean Track Lithius提供了多种功能,可实现高度精确、可靠的光刻和设备制造。先进的成像模型、图样设计过程和自适应补偿能力都有助于提供高分辨率的精确、干净的结果。这种设备是任何人寻找一个全面的，高质量的光刻系统的绝佳选择。