二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 #9198151 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 5是一款最先进的光刻设备。它是为需要高精度的工业应用而设计的。它最突出的特点是能够处理极薄的薄膜和基板，这在许多半导体生产过程中至关重要。Mark 5可用于应用和蚀刻具有卓越精度和均匀性的光刻胶层。它利用微调的光学和先进的计算算法来应用精确的光致抗蚀剂层，还具有独特的成像系统，用于高度精细的成像和监测过程。它有一个机载自动配方支持单元（ARSS），该单元针对光刻胶工艺进行了优化，允许针对每项工作定制优化工艺参数。这对于需要严格控制每个像素的设备设置的复杂作业特别有用。Mark 5有一个集成的前端升降机，可以快速交换基材，并且能够容纳多达9英寸的基材。Mark 5还提供了一系列湿处理选项,包括湿蚀刻和光刻,以实现快速高效的工艺控制。此外,Mark 5还具有许多安全功能。它配备了一个动态气体流动工具，以减少蒸汽暴露和光学封闭的设计，以防止接触危险化学品。它还包括一系列IP联锁和一个自动锁定前入口,以防止未经授权的访问。Mark 5是一种用途极为广泛的资产,使制造商能够快速可靠地交付高性能产品。其先进的功能使其非常适合一系列基于光刻胶的应用。其无与伦比的准确性和可靠性使Mark 5成为工业应用的宝贵工具。