二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 #9198152 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 5是为半导体工业中的先进光刻和制造工艺而设计的光刻设备。它利用一种称为HxP （High-X Movement Patterning）的独特阵列技术来确保统一、高分辨率的结果。TEL Clean Track Mark 5采用了优化的软触摸步进系统,提供高密度、短线宽度和高透明度领域的高精度口罩。步进器单元由多个元件组成，包括声光调制器（AOM）、目标镜头机（OLS）、步进器级和偏振级。AOM专为快速高效的掩模制造而设计,而OLS提供了更高的成像精度和性能。步进级可确保过程执行过程中稳定、准确的运动,而偏振级则可通过优化步进级刀具校准来提高整体性能。资产的HxP工艺结合了三步法的光刻胶图样。首先,将初始电路布局印在晶片上。接下来,将晶片倾斜以创建一个均匀的场与场间隙,这有助于在下一步中最小化曝光时间。最后，利用激光扫描技术进行光掩模曝光，以保证质量和准确性。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 5专为吞吐量和精确度而设计,优化了工艺精度,在高纵横比和垂直结构上均提供了统一而准确的结果。该模型是自动化的,具有内置的图像调整功能,例如基于配方的图像模式优化。此外,该设备还具有一个基于库的数据库,允许用户存储已知的配方,以便快速轻松检索。Clean Track Mark 5除了具有先进的特性和精确的图桉外，还以安全为重中之重进行了设计。它利用独特的集尘系统，以最大程度的安全，防止危险颗粒堆积在洁净室工作区。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 5是一款先进的光刻装置，设计目的是为用户提供精确、精确以及增强的安全性。其独特的HxP流程确保了统一和最佳的结果,而其自动化功能和基于库的数据库使计算机既方便用户又高效。