二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5Vz #9302022 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 5Vz是用于在半导体基板上阵列集成电路的最先进的光刻设备。它与5V、0.25微米的设计完全兼容，为最高的产量和性能水平而设计。其先进的功能包括优化的三清除对齐系统、双模网格对齐器和集成的防撞单元。三清除对齐机使对齐标记能够在几微米内精确配准。这确保了精度，并最大限度地减少了由于目标基板的位移而造成的阵列精度损失。除了精细的对齐精度外，双模网格对齐器从三个维度提供了更高的对齐精度。此特征可确保根据预定的设计绘图精确处理整个阵列的位置。该工具还具有集成的防撞资产。它通过使用许多光学传感器来防止扫描级和半导体基板之间的任何接触。此外，如果检测到两个系统之间可能的接触，它将停止操作，从而有效地防止对基板的损害。Mark 5Vz是市场上最先进的光刻胶型号，提供了最高的速度和精度。其优化的设计消除了误差，降低了复杂度，提高了收益率。其防撞设备有助于确保正确生成图样，防止对基板造成代价高昂的损坏。这使得它成为现代高精度集成电路生产的理想选择。