二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 / Mark 8 #9158032 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7/Mark 8是一种光刻设备,拥有先进的步进技术来制造半导体器件。它是一个全自动的精密光刻系统，能够将非常详细的图样转移到硅片上。Mark 7/8光阻装置具有大幅面扫描仪和均匀频率扫描等功能,可实现均匀成像、长波长曝光以及快速而优越的覆盖。Mark 7/8具有高精度、高速度、高可靠性的清洁履带舞台。它配备了一个由直接驱动伺服电动机驱动的精密级，能够在晶圆的所有表面实现均匀的成像曝光。机器有一个集成的线性编码器，提供精确的实时位置反馈，不需要外部激光干涉仪或编码器。此外,先进的跟踪控制器有助于降低背景噪声水平和高速行驶。Mark 7/8还配备了由高分辨率镜头和马达组成的光学工具,具有精确的定位控制,可精确控制曝光光束的足迹。这种能力使光刻胶资产能够产生极高分辨率的成像，具有优越的聚焦深度和一致的图样。此外，光学子系统减少了杂光和眩光的数量，从而限制了竞争光敏系统的性能。Mark 7/8的设计也是为了最大限度地提高空间效率，从而最大限度地利用现有或新的车间空间。为便于满足这一要求,光刻胶模型采用了流线型、坚固耐用且紧凑的布局,占地面积很小,经过优化,适合适当的车间。总体而言,TEL Clean Track Mark 7/Mark 8是一款可靠的光阻设备,旨在以最高的速度和准确性产生卓越的成像效果,同时又不牺牲工作区效率。该系统具有高性能光学和跟踪伺服电机,非常适合在具有挑战性的工作环境中创建高级半导体器件。