二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293589793 待售

ID: 293589793
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
(2) Coater system, 8" Process: AL-CH, PIQ 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7(CTM7)是一种光刻设备,设计用于生产适合制造电路板、薄膜设计、细线光刻工艺等先进技术的高分辨率工艺窗。它是一个完全自动化的单轨系统,使用户无需人工干预即可快速处理各种各样的光聚合物和环氧树脂抗性材料。该设备具有高精度级、先进的光学元件和精密的边缘放置工具,使其成为当今最高效、最可靠的光刻系统之一。CTM7的舞台最多可行驶6英寸。高分辨率阶段还能够一次容纳多达400个口罩,以快速准确地放置口罩。高分辨率级包括精密伺服电动机、线性轴承和高分辨率绝对编码器,以提高高速运行时的跟踪精度。该CTM7还配备了先进的光学元件,例如30 x 30x50 mm的大工作孔径,以及schmeisser 10 X光学组件和高分辨率自动蒙版对准机,以确保在最终产品中精确放置蒙版和低公差。该CTM7还采用了最大层厚1.5微米、特征宽度0.1毫米的光刻铸造工具。该CTM7是一种用途广泛且可靠的资产,适用于以低成本生产高分辨率口罩。直观的操作软件提供快速、简单的模型操作和高级功能,如集成的虚拟夹具、自动组装移动和多种配方。该CTM7还具有快速更换工具和精确的边缘放置工具,以实现精确的掩模放置和低污染水平。它还能够处理各种各样的光聚合物、环氧树脂和其他抗性材料,用于先进的光刻工艺。综上所述,TEL Clean Track Mark 7是一种精密光刻设备,它利用先进的光学器件、自动掩模对准和集成软件来实现高精度、低成本的制造。该系统的构建是为了在生产电路板、薄膜器件和其他细线光刻产品方面提供最佳效果。
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