二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293609900 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是一款最先进的光刻设备,设计用于将精确的化学蚀刻应用于高性能半导体器件。系统使用对光敏感的有机材料有选择地从设备表面去除一部分材料,从而创建光刻胶图样供后续沉积和构造。这种高度精确和一致的技术需要使用特定的化学品、光源和基板,以及先进的机器控制系统,以达到最大程度的可靠性和性能。TEL Clean Track Mark 7单元利用真空室溅射工艺在半导体器件表面涂上特殊涂层,以提供增强的化学蚀刻响应。然后将专门的光刻胶旋转到设备上,然后再暴露在特定光波长的光下。为了确保蚀刻过程中的均匀性,必须在整个基板表面均匀地施加这种光。在曝光过程中,光线有选择地蚀刻掉部分光敏材料以创建所需的图桉。一旦曝光过程完成,剩余的光致抗蚀剂和溅射涂层组合就会形成一个屏障,以防止在设备的其他区域进行不必要的蚀刻,并确保清洁、均匀的沉积。整个蚀刻过程在特殊的无电浴中完成,防止潜在的放电或对结构的热损坏。在该过程结束时,可以对设备进行阵列化,使其具有独特的功能,例如显示器、触点、线路和电路设计所必需的其他功能。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK Mark 7的精确度和一致性使得它成为许多先进半导体制造技术的宝贵工具。此外,该机器还具有针对可能干扰关键设备功能的污染物提供卓越保护的能力,从而导致设备故障或无法正常工作。此外,CleanTrackMark 7工具具有创造复杂光刻胶图桉的能力,也是研究和原型应用的理想选择。
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