二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293620432 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7是专门为半导体器件自动化开发而设计的光刻胶处理设备。该系统利用沉积工艺在晶片表面涂上光刻涂层材料，然后将其暴露在紫外线下，形成所需的图桉。然后开发图样，并通过蚀刻转移到晶片上。TEL Clean Track Mark 7单元由一个蚀刻双级旋转轨道和一台真空机组成，两者均由集成控制电子设备连接。自旋轨道有两个腔室：上腔室用于沉积光致抗蚀剂，下腔室用于使材料暴露于紫外线。真空工具为蚀刻和去除工作表面的光刻胶提供真空压力。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7配备了一系列先进功能，包括自动化转移资产、虚拟基板处理机构、扩展温度范围控制、供气压力控制、冷却控制、晶圆对准器以及集成缺陷监控模型。集成控制电子设备具有高度的可配置性,可提供广泛的功能,如晶圆参数设置、配方管理和生成的产量监控。该设备还包括一系列先进的安全功能来保护人员，例如互锁开关和温度传感器。最后,Clean Track Mark 7支持多种光刻材料,旨在提高工艺效率。该系统还具有高度的自动化和控制功能，可提高光刻加工沉积、开发和蚀刻阶段的速度、精度和重复性。