二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293638993 待售
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ID: 293638993
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Baking system, 8"
Wafer flow: Right to left
Silicon wafer
Process-1:
FC-9801 F NEC Controller
Stage / Indexer: Open CSB / Cassette stage block
Cassette Block Robotics Arm (CRA)
Process-2:
Process Block Robotics Arm (PRA)
(6) DHP
(9) LHP
(5) CPL
Power transformer
SHINWA Temperature and Humidity Controller (THC)
UPS
Hard Disk Drive (HDD) included
(2) Missing parts:
Main arm Y-motor
Main arm Z-motor driver
1995 vintage.
TEL TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一种光刻胶系统,旨在为广泛的应用提供卓越的成像质量、生产力和一流的工艺控制。该系统由开发/涂层模块、成像模块和带有对齐器的接触步进器组成。开发/涂层模块旨在为开发和涂层工艺提供卓越的能力。它利用先进的无泡技术来保证最高质量。该模块还具有薄膜正面和厚度调节控制功能,以确保适当的薄膜厚度。此外,该模块还具有速度调整功能,以确保流程的可重复性和均匀性。成像模块具有先进的激光干涉扫描功能，以及全尺寸扫描表面，以确保图像的最大分辨率。此外,成像模块还可用于精密和批量生产运行。它还具有用于一次性图像的手动图像设置器。带有对齐器的接触步进器设计用于提供掩模的精确定位,以便对图像进行一致的配准。步进器还具有先进的模式识别控制，以精确控制遮罩材料与表面之间的对准。此外,接触步进器可实现极其精确的接触对齐,从而使图像与基板完全对齐。TEL Clean Track Mark 7是一款最先进的光刻胶系统,能够提供卓越的成像质量、工作效率和一流的工艺控制。它的高级功能确保了在各种过程中的一致性和质量控制。此外，它的小巧尺寸和高能效设计确保它可以很容易地融入小空间。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7为广泛的影像应用提供了理想的解决方桉。
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