二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293656062 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是一款先进的光刻胶设备，旨在以精密、精密、清洁度创造卓越的效果。该系统采用靶向激光器、先进液相色谱（LC）和激光空化工艺的组合，在广泛的底物上做出非常精确的图样。液相色谱法使用溶剂和分散剂的洗涤剂在激光空化之前对表面进行清洁和准备，为激光目标区域创造一个完美的清洁环境。激光空化过程是TEL Clean Track Mark 7单元的主要组成部分。激光光学组件对准基板，调整目标窗口以给出所需的精确图桉尺寸和形状。聚焦的激光束随后在基板上移动，同时在快速爆发时发出紫外线。这会在基板上的光致抗蚀剂涂层内引起反应，从而形成目标图样。该工艺的独特之处在于，与其他形式的光刻不同，采用了没有溶剂的干燥工艺。无需管理溶剂，消除溶剂溢出污染的可能性。由于不需要用溶剂制备或浸湿底物，底物表面润湿不是限制，导致了精度、精度和整体结果的广泛改进。TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7还提供了一个用于过程控制的闭环机器。它具有一台板载计算机和一个集成的输入/输出工具,使用户不仅可以访问各种即时流程参数,还可以访问历史记录的数据。允许实时反馈和调整过程,而不影响基板.Clean Track Mark 7非常适合各种行业,如大容量存储、半导体、医疗和消费电子产品。由于其精确度、精确度和清洁度，有更高的产量、更好的产量、更高的重复性和更准确的数据。作为一个干燥的过程，它尽量减少对环境问题的需要，降低成本。