二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746057 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7
ID: 293746057
晶圆大小: 8"
(2) Coater / (2) Developer systems, 8" Wafer flow: Left to right IFB Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7是一款用于电子电路和器件纳米加工的光刻设备。该系统使用强大的紫外线光源有选择地照亮基板材料的特定区域。这一裸露区域再涂上一层光致抗蚀剂,提供绝缘层,以保护底物的底层组件和层不受进一步暴露。然后可以使用该单元蚀刻出光致抗蚀剂层的裸露区域以创建所需的图样以进行进一步处理。TEL Clean Track Mark 7上的光源是一种等离子燃烧的碳化硅陶瓷灯,产生光谱波长约365nm-395nm的紫外线。这样可以提高光刻操作的精度。光源可以从不同角度定向到基板上,从而可以对设计过程进行更大的控制。光刻机还包括一个遮罩,放置在基板和光源之间。它包含要应用于基材的图桉。遮罩是工具的组成部分,可以很容易地改变,以便在不同的基板上有不同的图桉。除了光源和蒙版,TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7光刻资产还包含一个软件包,可用于控制模型和创建所需的图样。它还允许实时监测和反馈光刻操作,使过程更加可靠,不易出现缺陷和错误。Clean Track Mark 7是一款功能强大、精密的光刻设备,用于创建复杂的电子电路和设备。其强大的光源、控制曝光角度的能力以及快速轻松地操作掩模的能力,有助于确保纳米加工过程的精确度和准确性,从而能够创建非常小巧复杂的设计。软件包还有助于确保错误和缺陷得到快速识别和消除。简而言之,它是纳米加工过程中不可或缺的工具。
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