二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746062 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7
ID: 293746062
晶圆大小: 8"
(3) Developer systems, 8" Wafer flow: Right to left Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是由TEL Limited开发的光刻胶设备型号。它是一套全自动生产的光掩模加工工具,由曝光单元(FUJI EL-CT7)、开发单元(FUJI Dv2-CT7)和涂层单元(FUJI Alt-CT7)组成。它设计用于生产高精度和可重复性的光掩模,适用于洁净室应用。FUJI EL-CT7曝光单元配备了用于高分辨率成像的最先进的激光二极管阵列,集成并调整了数字测量和调节功能,以确保高精度曝光性能高可靠的光掩模。它进一步配备了双喷嘴喷雾器和变温控制系统,以保证均匀的光敏涂层。FUJI Dv2-CT7开发单元负责开发过程,并配有选择性可变搅拌单元和特殊喷嘴形状,使其能够提供受控、均匀的开发过程。它进一步能够对光掩模进行全面的检测,并且可以与多种不同类型的光刻胶一起使用。此外,FUJI Alt-CT7涂层单元提供了先进的多层预涂层和后涂层技术,具有广泛的抗蚀剂组合。除了技术先进的组件外,TEL Clean Track Mark 7还为洁净室应用程序提供了出色的安全功能。它有一个自动化的安全控制机器,有各种传感器来检测任何潜在的危险,例如温度变化和气体浓度。此外,它还配备了综合安全开关和警报系统,以保护人员在操作过程中免受任何潜在危害。总之,TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是一款高度先进、自动化的光致抗蚀剂工具,设计具有最高水平的安全和生产技术。它具有高分辨率的成像、先进的前涂层和后涂层技术以及自动化的安全控制资产,使其成为清洁空间应用的完美工具。
还没有评论