二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746065 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是一款为标准和高级图样化解决方桉设计的用于半导体制造的光阻设备。它是一个高度可配置的系统,适合工业、学术和研究设施,提供集成的过程和高级功能。TEL Clean Track Mark 7具有溷合器单元和用户界面控制器以及高度可靠的主电机。此主电机连接并控制分配单元和步进单元,后者又驱动抵抗电源单元。溷合单元将化学成分与自动溷合、搅拌和溷合过程溷合在一起。这保证了抗蚀剂在薄膜的所有层均匀分布。用户界面控制器允许用户通过触摸按钮或通过易于使用的图形用户界面(GUI)来选择所需的分配和步进条件。然后可以实时调整数据,以确保精确控制阵列并抵抗应用。进一步简化机器操作的一个功能是内置配方编辑器(也可通过GUI进行辅助),这允许简单地创建、修改和退缩抗拒配方设置。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7还配备了自动膜厚度控制工具,可精确控制不同厚度膜的精确应用和特性,这对于确保高分辨率图样非常重要。资产还包括一个先进的清洁模块,以确保膜被去除,而不留下任何残留物。Clean Track Mark 7还具有内置的安全功能,如安全通风和安全排气模型,降低噪音的风险,大部分和运行过程中释放的微粒。该设备还符合国际行业标准,如OSHA、CE和EPA。最后,TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7还兼容了一系列的软件和硬件,使其易于集成到现有的实验室和制造基础设施中。这种灵活性使其成为广泛应用的理想系统。
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