二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746066 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一种光刻设备,使集成电路（ICs）制造商能够实现复杂结构的精细和精确处理。该系统能够产生高精度和可靠的锡氧化物结构，而不需要预先设计的遮罩。TEL Clean Track Mark 7利用独特的专利Optra Beam轮廓技术,精确调整光束形状和功率密度,以匹配基板和光刻胶轮廓,从而实现所需的加工目标。该机允许对光束形状和功率密度进行实时监控和调整，即使具有复杂的形状和特征，也能实现高度精确和有效的处理。TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7还采用了最先进的成像和激光控制技术，以及改进的消除阴影和耀斑效应的辐照装置。通过精确控制激光光斑大小和功率密度，减少了薄膜重迭，从而提高了最终结果的精度。与Clean Track Mark 7配合使用的光刻胶层设计为热稳定，电阻非常低。这使工具能够产生高长宽比的极薄（1-2微米宽）结构，以及非常细的线宽和狭窄的铝互连。资产还允许不断调整流程窗口,从而允许客户定义严格的处理和性能标准,如图像分辨率和关键特征高度。此外，还可以启用和利用步骤和重复算法在多个基板上高精度地复制IC。TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一款功能强大且可靠的光刻胶型号,非常适合需要精确度和精确度的应用,例如IC製造。其先进的光学、成像和激光控制技术实现了高度精确但灵活的处理，即使在复杂的基板上也能确保完美的效果。