二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293765195 待售
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ID: 293765195
优质的: 2000
(1) Coater / (2) Developer system
Interface module
Temperature and Humidity Controller (THC)
Chemical cabinet
No power box
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是光刻技术的领先产品。为半导体器件制造商提供先进的光刻胶溶液.这项技术是为了在基材上精确实现所需的设计模式，如硅片。TEL Clean Track Mark 7具有独特的口罩对准设备,能够在光刻口罩和基板之间提供准确且可重复的对准。这是利用先进的光学对准系统完成的，该系统利用激光、衍射光束分离器和两个照相机来检测遮罩和基板之间的对准以及光刻胶对激光的曝光。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7具有独特的曝光特性，使用高强度紫外线光源和改良的光学单元，将光刻胶精确暴露于掩模对准器。它还采用了一种采用高精度涂料的顶级涂料机，将光敏材料精确地涂在基板上。该工具旨在最大限度地减少暴露时间，减少浪费，并确保光刻胶的均匀涂层。CleanTrackMark 7旨在实现卓越的精密基板和高度精细的图桉。它具有先进的控制技术，例如专门的控制资产，可以在预先设定的精度范围内维护过程参数。该模型能够提供高精度的光刻效果，实现更密集的曝光和卓越的覆盖。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7可与其他生产系统整合，取得更广泛的製程能力。它配备了计算机化的接口设备，使其能够与各种软件程序配合使用。这使得系统可以独立运作，或者与其他兼容技术结合使用。TEL Clean Track Mark 7由高质量的组件构建而成,为设备制造需求提供了可靠且高性能的工具。它是为长期使用而设计的，需要最少的维护。此单元提供卓越的分辨率,并且能够产生比其他技术更精确的高度详细的模式。
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