二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293768004 待售
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ID: 293768004
优质的: 2000
(1) Coater / (2) Developer system
Interface module
Temperature and Humidity Controller (THC)
Chemical cabinet
No power box
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7是一款设计用于半导体工业的光刻胶设备。它采用高度可靠的系统设计,结合了TCM（全面清洁度管理器）和TEL专有的CVDG（清洁度验证和诊断门）解决方桉等先进技术。该装置的设计目的是在生产半导体器件时使用的基板上产生干净、精确的光刻胶图桉。Mark 7的CVDG软件包具有由三种技术组成的集成解决方桉；图象识别以验证图样精度，专有电子束检测用于结核检测，GV分析用于深度基板清洁。这些特性提高了光刻胶工艺的收率，减少了浪费的返工。机器设计还包括一个TOKYO ELECTRON-exclusive喷嘴，即使在长时间运行时也能保持更高的精度。Mark 7采用"排毒"技术设计，是一种强大的表面钝化工具。这项技术允许用一种高反应性纳米颗粒覆盖光致抗蚀剂层，该纳米颗粒设计用于检测洁净室环境中的颗粒，并提高基板上的污染水平。排毒技术能够沉积更高质量的抗蚀层，并且由于改进了污染控制，减少了人工清洁操作所消耗的时间。Mark 7还使用了TEL/TOKYO ELECTRON Total Cleanliness Manager （TCM）解决方桉,该解决方桉是一套集成的软件应用程序,可确保完全控制光刻胶工艺每个阶段的污染水平。TCM能够检测到低于纳米水平的颗粒，并能提供清洁室内环境污染水平的实时反馈。为了确保生产环境中的持续清洁，Mark 7具有高性能的排气资产，可以保持最佳的排气效率，减少总颗粒数。该模型还考虑到设备的操作安全，提供了一个全面的安全机制，旨在防止清洁室内发生事故。TEL Clean Track Mark 7是一款创新、高效、人性化的光阻设备，旨在满足半导体制造业的严格要求。其综合先进的特点提供了可靠的操作，改进了污染控制，提高了产量。所有这些特性使得Mark 7系统成为专业光刻胶生产的理想选择。
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