二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293770189 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7（又称CTM7）是制造半导体器件的光刻设备。它是一种全自动、非接触式曝光工具，设计用于生产各种光掩模。该CTM7是一个中档系统，旨在执行精确的光刻操作，具有严格的公差水平，同时保持高收益率。该装置采用先进的转盘式输送机构，支持多次曝光，确保基板对齐一致。转盘连接到先进的步进电机，以提供精确的基板处理能力。它还包括一个真空卡盘机，支持处理具有紧密均匀性水平的易碎基板。该工具能够处理5英寸、6英寸和8英寸晶片，同时保持99.99%的收益率。曝光资产配备了超高真空（UHV）源腔室和光学部件。此设置允许双聚焦和扫描曝光操作,曝光精度可降至几纳米。它还提供双曝光和激光曝光功能,以及线条和边缘曝光的可调对准。该CTM7还具有可编程晶片定位模型，可用于自动将晶片定位到曝光区域。这有助于通过最少的手动输入来确保可重复、高质量的结果。此外，CTM7还配备了多种软件，便于操作和精确控制暴露过程。总之，TEL Clean Track Mark 7是一种先进的光刻设备，非常适合制造半导体器件。它具有转盘式输送机构、真空卡盘系统、Ultra-High Vacuum源室、双聚焦和扫描能力、激光曝光能力、可调对准和可编程晶圆定位单元。它能够以最少的人工输入产生一致和高质量的结果。