二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293819950 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7是一款为精密加工、沉积和蚀刻工作而设计的自动化光刻设备。该系统采用高速激光划线装置，可实现高精度迭加对准。该机配备了多种工艺可调参数，便于针对不同基材类型或工艺要求进行调整。这种光刻胶可以薄膜形式提供给小几何形状的高分辨率图样。该工具利用超高频多束激光源，产生一系列激光脉冲，将图样涂抹到基板表面上。然后将划线标记用作光刻沉积循环的对齐参考。该资产能够精确控制基板表面地形，从而能够在嵌入的标记上准确定位和定位光刻胶。光刻胶模型可以将薄膜形式的光刻胶材料沉积到基板表面上。这种精确的薄膜沉积可以实现小几何形状的高分辨率阵列，是半导体器件制造的理想选择。该设备还配备了一个集成相机，用于精密对准用于划线过程的激光束。该相机还用于沉积过程中的实时反馈，允许光刻胶在划线标记上的高精度配准。光致抗蚀剂系统是为可重复性和吞吐量而设计的。该装置每小时最多可接收2,000张照片。这种高吞吐量使得它非常适合吞吐量至关重要的应用程序,例如大规模生产运行。TEL CleanTrackMark 7机是光刻材料在划线基板上沉积的理想解决方桉。高速多光束激光源能够对光刻材料进行精确的涂抹和配准。集成的摄像头和自动化的过程控制工具可实现高精度的阵列设计,且误差最小,周期时间也很快。该资产用途广泛,非常适合用于具有多种基材和工艺要求的小几何形状的高分辨率阵列。