二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158026 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是为提高IC和半导体制造商的生产产量而设计的最先进的光刻设备。该系统将光聚合物"墨水"应用于预制的薄金属、聚酰亚胺和其他薄膜基片晶片，允许对光致抗蚀剂进行精确的制图。TEL Clean Track Mark 7提供了先进的集成过程对齐功能,可实现快速、准确的对齐,使其能够接触到高达0.25 µm的模式。这一特性提高了0.6 µm级图桉的光敏精度。该机器还具有自动预热选项,在暴露过程之前提供快速加热过程,并防止由于温度不均匀而导致暴露异常。利用超短波长准分子激光器提高了感光图像的精度。这种激光提供了更高的亮度和更大的曝光面积，允许更短的曝光时间和更少的机器周期时间。此外，通过减小最小特征尺寸和有效减小变化，激光提供了比传统系统更高的分辨率。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7还具有内置的去污工具（DCS）工艺。DCS设计用于在曝光前清除成像和曝光区域中的任何污染物。这一特性降低了曝光过程中受到污染的机会，有助于提高光刻胶图样制作过程的准确性和稳定性。Clean Track Mark 7配备了多个选项,用于自定义指定材料和应用程序的最佳匹配条件。资产的高级功能配备了一系列客户支持服务,包括远程诊断、型号维护和软件升级等服务。所有这些特性使得TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7成为最可靠、效率最高的半导体和IC制造光阻系统之一。