二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158029 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7（CTM7）是一种针对晶圆清洗和加工而优化的光刻设备。系统使用高性能光束记录器（HBR）来捕获和处理半导体晶片的高分辨率图像。该CTM7有一个三轴换位表，可以精确定位晶片，用于成像过程。成像过程利用了多种工具配置,并使用多达十二（12）个高级透镜进行动态晶圆扫描。透镜能够捕获和处理晶片上的特征，分辨率高达25纳米（nm）。CTM7利用光刻技术捕获半导体晶圆的图像。光致抗蚀剂是现代半导体制造中使用的一种光敏材料，用于在晶圆表面创建图样。CTM7用适当波长的激光照亮晶片，而HBR照相机捕捉反射图像。然后将捕获的图像数字化并记录下来以便进一步处理。CTM7可以支撑晶片上的多层光刻胶，必要的层由器件设计决定。CTM7还配备了独特的多维晶圆穿梭装置（MDSS）。MDSS允许晶片在HBR腔室和工艺腔室之间快速传输。MDSS还可以对晶片进行背面成像，这增加了光刻机捕获和记录设备特性的能力。CTM7的先进技术和功能使其成为最先进、最可靠的光刻胶系统之一。该工具是为最大的效率和可靠性而设计的，降低了半导体制造的成本。此外,CTM7还包括各种安全功能,如自动检出、断电保护、激光禁用和紧急停止。这些特性使CTM7成为半导体生产中最安全的选择之一。