二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165446 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7（CTM7）是一种光致抗蚀剂设备，可精确扫描图样，在金属、电子、玻璃等多种基板上产生精确的模版和蚀刻图样。该系统是为了利用最新的半导体和封装技术而开发的。它采用"干净"的打印头设计,可消除灰尘、污垢和其他污染物,从而防止形成精确的图样。CTM7由穿梭单元、波纹管和带有旋转板的双面卡盘组成。穿梭机将面板或基板从一个工作站移动到另一个工作站,自动执行过程的每个步骤。波纹管使面板居中,并与工具一起密封真空袋。这个过程分为三个阶段。首先，进行预处理以制备沉积的基板表面。在此阶段，任何灰尘、污垢或其他污染物都会从基板表面清除。这个过程是通过加热基板来完成的，以便有效地粘附。接下来，光致抗蚀剂沉积发生。光致抗蚀剂是一种暴露于光的液体，硬化后会凝固。使用激光束将基板暴露在光敏材料上，精度为0.5微米。这种步进资产允许对基板进行精确的图样和蚀刻。最后，进行后进程。此步骤将从基材中移除所有剩余的光致抗蚀剂。热液洗涤，然后进行基材干燥和电化学蚀刻，完成了这一过程。结果是一种高精度、高可靠性的模具，可用于许多应用。该CTM7是一个高效和经济高效的工具，因为它一次最多可以处理面板，准确的印记比传统的流程要少。因此,CTM7在优化生产的同时降低了能耗。