二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165472 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7
ID: 9165472
晶圆大小: 8"
Coater / (2) Developer system, 8" Scrubber Single block Interface CANON Stepper Wafer flow: Left to right.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7(CTM-7)是由东京电磁公司开发的先进光刻设备,用于先进的半导体制造工艺。该CTM-7利用了许多尖端技术,使其能够比以往更快、更准确地处理晶片。该CTM-7采用具有高精度导线和侧倾螺钉以及滚动导轨组件的继电器型轨道系统,确保晶片沿着精确路径运行。此外,CTM-7采用独特的双层旋转结构,以确保晶圆的均匀运动,并减少旋转晶圆所需的时间。该CTM-7还配备了一个高分辨率摄像头单元,使其能够检测和存储晶圆信息。然后将这些信息用于指导晶片上的光刻过程,确保光刻胶的最佳应用。该CTM-7还配备了多区温控机,可维持CTM-7各地区的均匀温度。该工具能够精确控制从-10°C到+250°C的温度。该CTM-7还可以与多个其他系统集成,如湿式板凳、加热器控制器和光刻系统。这允许跨流程的多个阶段进行集成。该CTM-7是设计用于制造半导体的高度先进的光阻资产。其先进的设计和特点使其能够准确快速地加工晶片,使其成为用于生产线的理想模型。此外,它与其他系统集成的能力使其成为简化光刻胶工艺的强大解决方桉。
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