二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165473 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一款具有先进功能的模式选择性光刻设备，使其能够精确沉积具有多种所需特性的感光膜。该系统采用三级工艺，保证了光刻应用中均匀的薄膜厚度和近乎完美的精度和分辨率。首先，根据材料沉积和掩蔽的特定模式建立了一套专有光臭氧。然后，这些区域被机器视觉引导，将光敏胶片的沉积引导到预定的光臭氧上。用户可以根据所需的光刻类型以及过程中的任何其他附加步骤在不同程度的薄膜厚度之间进行选择。第二阶段涉及应用等离子体预处理，用于改善光刻胶膜的润湿。等离子体预处理本质上是一种低能电离气体，在与底物表面键合之前，有助于加热并引发光致抗蚀剂反应。通过以多种方式控制等离子体预处理，用户可以针对其预期目的，有选择地调整光敏膜的性能。TEL Clean Track Mark 7内的第三级是光致抗蚀剂暴露于紫外线（UV）的地方。这通常用一系列机械来完成，以减轻人工操作的一些弊端。利用多轴运动控制系统和精密光学器件，可以快速实现高分辨率图像的完美采集速率。此外，该机利用专有的软件工具来帮助优化分辨率和自动校准和调整参数。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7因其精确度和均匀性，是光刻应用的理想工具。利用其三阶段工艺，光刻沉积的精确度和分辨率可以获得较高的成功。通过使用该资产，可以以一致和可靠的方式实现各种厚度的光阻材料。此外,模型的高度自动化特性允许快速、高效的过程,在此过程中,用户可以期望获得很高的准确性和分辨率。