二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165478 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7是一款光刻设备，为创新的光刻工艺提供优异的性能。它专为先进的口罩制造而设计，专注于高密度液晶、平板显示器、半导体器件以及其他先进电子制造等多种应用的大批量生产。TEL Clean Track Mark 7使用湿式轨道系统提供光刻处理,并采用优化的光刻胶制图工艺,以提高产量和吞吐量。它支持广泛的基板尺寸和配置，每小时最多可处理120个基板。该单元配备了高精度激光聚焦机，提供卓越的蚀刻轮廓，具有出色的均匀性和准确性。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7配备了高分辨率的遮罩对准器，允许口罩和高速标线的精确互换，以及一种先进的化学再循环工具，保持低残留水平，以在光致抗蚀剂应用中获得最佳效果。其智能喷雾资产保证了应用抗蚀剂的一致性和最优化，而其先进的聚焦检测模型实现了精确的步长覆盖和优越的图样放置精度。该设备的设计旨在确保有效的晶片清洗，具有自动洗涤和自动清洗机制，用于维护和延长产品寿命。该系统包括一个内置数据交换端口,允许在设备、控制应用程序和各种外部主机之间实时传输关键数据。这确保了可靠和高效的操作以及高效的过程监测和控制。Clean Track Mark 7符合众多行业标准,可轻松集成到工厂的光刻环境中。TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一款高性能的光刻机，旨在满足先进电子生产的需求。它提供了准确可靠的阵列设计结果,具有出色的均匀性、吞吐量和步长覆盖率,非常适合各种制造应用。