二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9243714 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是半导体工业中光刻工艺中使用的最先进的光刻设备。该系统旨在提高集成电路中亚微米特性的精度和重复性。光刻是将图样放入基材材料如半导体晶圆、液晶玻璃或半导体工业中使用的其他材料上的过程。该单元利用强大的投影光学器件和高精度级对准基板材料的暴露和未暴露部分。TEL Clean Track Mark 7机器为达到其卓越的精度和可重复性,结合了高性能的光学工具和运动控制资产来控制基板材料的路径和检查。光学模型配备宽带准直透镜，将光聚焦在涂层上。一种高速、超精确、步进重复的运动控制设备，由用于基板对准和元件放置的3轴直线级和用于扫描、检查和冲洗的6轴铰接机器人臂组成。该系统允许在基板材料上精确和可重复地放置光敏材料层。该技术还包括一个自动清洁站，用于清除基材中的残留物、灰尘和污染物，以及一个膜检测站，以确认适当的层位和对准。最先进的TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7单元还融合了创新的图像识别算法和机器人工具，用于光刻胶层的检测和优化。该机能够检测小到2 µm的缺陷和缺陷，能够以5 µm的精度测量线缘粗糙度和尖端到尖端的距离。Clean Track Mark 7工具获得了TEL的专利，是实施尖端半导体工艺技术的领先光刻资产。这种先进的模型为许多行业（如半导体、显示器和数据存储）使用的精密光刻工艺提供了高精度、重复性和可靠性。该设备的精确度和多功能性使其成为制造小型超高密度电子元件的理想解决方桉。