二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9243715 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一款光刻设备，能够执行高精度、高通量的蚀刻工艺。设计用于制造多种微电子器件，如半导体芯片、场效应晶体管、薄膜晶体管。该系统采用一种称为"清洁轨道"的专有静态充电工艺，无需在晶圆层之间进行清洁，从而提高了生产效率。TEL Clean Track Mark 7包含一个用户定义的环境室，允许在蚀刻过程中对温度和湿度条件进行最佳控制。这样可以防止晶片上形成静电，从而实现更精确、可重复的蚀刻过程。Mark 7还配备了高分辨率相机，提供了对蚀刻操作的精确控制，允许高度精确和可重复的结果。它还有一个多区控制器，可以同时调节薄膜厚度、蚀刻速率、晶圆不同区域蚀刻均匀性等参数。该设备具有多种自动化功能,易于使用。它可以编程为自动选择完成特定工艺所需的适当蚀刻参数，同时确保最佳的均匀性和准确性，同时最大限度地降低过度蚀刻的风险。此外，该软件还包括一系列安全功能，确保人员安全和蚀刻时材料的完整性。最后,Mark 7提供了与用于自动数据收集的"干净轨道"软件套件的无缝集成,允许用户根据需要快速访问记录、分析趋势和调整参数。软件还包括一个根本原因分析功能，可以在出现问题之前识别过程中的问题。这有助于提高机器性能和可靠性。总体而言，TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是一款先进的光刻工具，提供一致且高度精确的蚀刻，加上现代软件套件增加的安全性和数据收集功能，使其成为任何蚀刻操作的绝佳选择。