二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9246548 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一种光刻胶设备，为成像和处理提供多种选择。这台机器提供了一个高效的平台，用于光学光刻和先进的图样制作过程，如蚀刻、沉积和升空。该系统采用高速、多波长激光和优越的镜面单元，在半导体晶片上创建清晰、高分辨率的图像。该机还配备了动态热级，保持对基板温度的精确控制，确保最高的图样分辨率质量。该机器旨在减少缺陷和污染,非常适合敏感、高分辨率的应用。它具有先进的过滤工具，其中包含三个独立的单元，以去除颗粒、水分和空气中的污染。TEL Clean Track Mark 7还配备了最先进的气流资产，该资产将加工区域与腔室隔离开来，以防止空气污染进入模型。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7能够处理多种材料，包括绝缘体硅晶片（SOI）和蓝宝石硅晶片（SOS）。此外，该设备还具有多种沉积和升空选项，包括湿法、干法和激光沉积/升空工艺。最后，Clean Track Mark 7配备了先进的影像系统。该单元能够解析低至0.5微米的模式,非常适合DRAM和SRAM应用。此外,机器还可以处理多层传输,从而确保跨不同层的高精度和可重复性。此外,机器还提供高级对齐功能,允许用户在基板上精确定位不同的层。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是一种功能强大且可靠的光致抗蚀剂工具，用于成像和处理半导体晶片。它具有高分辨率成像功能、多种沉积/升空选项、先进的气流过滤以及出色的对准功能。这台机器是各种成像和处理应用的理想选择。
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