二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9265762 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一款光刻设备，专为制造微电子元件等高精度应用而设计。它拥有高精度、低应力和低气候依赖性的蚀刻环境,使最复杂的结构易于制造。TEL Clean Track Mark 7是一个包含三个组件的系统：一个浸入式单元、一个转移单元和一个干燥单元。浸入式装置是浸入溶剂基蚀刻溶液中的真空室。这提供了一个可重复、高度均匀的蚀刻过程，并且不需要蚀刻后处理。转移单元将图样化的光刻胶掩模从晶片转移到浸入单元，干单元从蚀刻材料中驱除多余液体。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7能够精确蚀刻直径低至45nm的特征,具有出色的边缘控制和出色的线宽控制。它能够处理各种光敏材料，使其能够用于一系列高度敏感的微观制造过程。该单元还具有高精度的晶圆处理，可重复的精度水平为0.6 μ m，超过5 μ m长的步长。除了高精度蚀刻技术外,Clean Track Mark 7还采用模块化设计,使用户更易于定制。它还配备了方便直观的操作员界面，帮助过程监控。该机具有内置功能，以确保流程一致性，设计可靠、高效、安全。TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一款高效可靠的光刻工具，可以满足与制造最先进的半导体器件相关的严格要求。它能够实现高精度蚀刻，具有出色的蚀刻速率控制，以及广泛的晶圆处理能力，一次又一次地提供高质量的结果。