二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9350704 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是一款专为保证大型面板无颗粒加工最高水平而设计的光刻胶设备，尤其难以清洁聚酰亚胺和陶瓷等材料。该系统配有双紫外线加速器源，特别适合在沉积前提高面板清洁度。TEL Clean Track Mark 7的顶部有两个弧线，用来辐照富含臭氧的氙气气氛，以保持清洁的环境。当进入腔室时，面板沿着光滑的擦拭边缘过程通过，该过程利用高速擦拭来清除任何污染颗粒。然后，用渐进的高强度紫外线源清洁面板表面，进一步消除任何潜在的颗粒。根据所使用的基板类型,TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7能够根据客户的特定工艺需求,从0.1微米到0.3微米进行精确清洁。Clean Track Mark 7的房间里充满了不断监测和控制以获得最佳无颗粒环境的清洁氮，而其他一组传感器则不断监测室内的温度、湿度和气体水平。此外,还安装了高速快门,该快门仅在面板对齐以达到最大覆盖范围时才打开。这样可以最大化吞吐量并降低功耗。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7的操作员面板为用户提供了所有先前存储的预设食谱的列表，以及最多存储150个新食谱的能力。直观的图形用户界面允许操作员快速选择需要更改和接受的参数。此外,该设备还使用功能强大的自我诊断工具来不断监控机器并限制干扰和停机时间。TEL Clean Track Mark 7还配备了EXECon，这是一个高级图像分析工具。这一资产可以积极监测清洁过程，以查明可能需要清除的颗粒和碎片，使使用者能够迅速查明任何潜在问题并迅速加以解决。总之，TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是精确快速清洗大面板等难以清洗材料的理想型号。其高度精确的紫外线源、自我诊断工具和EXECon确保了最高水平的无粒子处理。直观的用户界面支持简单的操作和配方存储,而其富含硝化物的清洁室的连续操作确保了面板的最佳清洁度。
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