二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #293616507 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8光刻胶设备是为光刻处理而设计的先进成像解决方桉。该系统旨在最大程度地提高吞吐量,同时减少对掩模材料的热影响。它的模块化设计使其能够适应广泛的生产应用,并轻松地与大多数现有的光刻系统集成。TEL Clean Track Mark 8利用先进的镜头单元,并使用五波段紫外线照明,达到高达100 nm的空中影像分辨率。其令人印象深刻的成像精度,加上其波长选择辐射能力,使机器成为高端光刻应用的理想选择。它还具有很高的动态范围,以提供这些处理所需的清晰度和微妙的音调范围。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8包括一个可编程电阻率控制器,可确保光刻胶的均匀应用,并提供高冲洗速率,有助于最大程度地减少过程变化和非均匀性。它支持高分辨率掩码写入,包括交替和多级分层掩码写入。该工具采用了一种改进的计算机控制算法,以减少像差并确保光致抗蚀剂的均匀剂量。它配备了晶片对准资产,用于稳定、可重复的处理,包括用于环路对准和缺陷输出控制的CCD摄像头。为方便起见,Clean Track Mark 8配备了用户友好的图形用户界面(GUI)和触摸屏控制。GUI可轻松访问所有编辑、操作和脚本功能。它提供动态图像大小调整,以及自动晶圆索引和对齐校正.TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是光刻应用的理想光刻模型,要求高通量、重复性和准确性。其尖端的镜头设备和先进的成像能力使其成为最高口径半导体处理的可行解决方桉。
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