二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #293628320 待售

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ID: 293628320
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Resist coater / Developer system, 8" Single block Controller type: NEC-PC-9800 Wafer direction: Right to left AC Power box TCU: (2) Electronic controllers Hard Disk Drive (HDD) not included AC power cable: 1 Phase 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8是一款高精度、精细图桉设计的光刻设备。光致抗蚀剂系统的设计目的是将细腻、均匀的图样暴露在硅片等基板上,用于制造创新的半导体器件。该单元使用可淹没轨道扫描仪,由主体、投影物镜和驱动系统组成。水下轨道扫描仪连接到轨道控制器,该控制器控制机器的各种参数。投影物镜与轨迹扫描仪相连,浸没在液体光刻胶溶液中。投影物镜用于将光聚焦到光阻上,驱动系统允许将图样精确定位到基板上。该工具可产生均匀、高精度的图桉,精度高达0.1微米,图桉高达0.2微米。光刻胶还提供稳定性,意味着它不受温度、压力或年龄的影响。这使得它非常适合用于半导体器件的制造,因为需要高精度、精确的图样。TEL Clean Track Mark 8资产非常适合那些需要以可靠、准确的方式在其基板上对薄层进行阵列设计的人。该模型可提供精度高达0.1微米的均匀、高精度图样,使用的光刻胶不受年龄、温度和压力的影响。最后,这种设备还可以用来制作高密度、三维的图桉,确保能够以更高的精度和精确度生产出创新的装置。
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