二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #293635984 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8是半导体製造光刻工艺中使用的光刻胶设备。Mark 8系统将一层薄薄的光致抗蚀剂应用于晶圆，然后将晶圆暴露在紫外线下。这种对紫外线的暴露在光线暴露的点上引起化学反应，从而改变了薄膜的性质。这使得光抗蚀剂可以根据光的图样蚀刻掉。Mark 8单元能够以极高的精度曝光光刻胶，创建低至0.4微米特征大小的图桉。这是Clean Track系列前一款车型的两倍精确，有助于生产出可想象的最高质量的微电子元件。机器利用专有CCD相机精确定位晶片，精度小于1微米，以确保晶片对准精确。该工具还使用了一个RIE蚀刻室和一个三区炉来精确地涂抹和去除光致抗蚀剂。RIE蚀刻室允许使用各种蚀刻条件来定制任何给定应用的光刻工艺。Mark 8资产是一种先进的光刻胶模型，可以处理最现代、最精密的半导体元件。该设备不仅提供精确的蚀刻和对准，还允许对浸出参数进行专门的调谐，以确保所应用的光刻胶与暴露的紫外线完美匹配。Mark 8具有市场上一些最先进的编程功能，具有直观和用户友好的界面。它允许实时更新和预测晶圆容量,以帮助确保成批芯片保持正常运行。此外,系统能够跟踪每个芯片的性能数据,帮助在问题成为问题之前识别和跟踪问题。该单元还允许方便的数据跟踪和分析性能和利用率，TEL Clean Track Mark 8是一款强大的光刻机，可以处理最先进和最具挑战性的微电子制造工艺。该工具允许精确的晶片对齐、精确的蚀刻以及实时监控和数据收集,以确保质量、性能和吞吐量一致。它是任何半导体制造设施的理想选择。