二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9128616 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8是一种光刻胶加工设备，用于半导体生产过程中加工晶片。光致抗蚀剂是一种光敏环氧型材料，暴露在光线下会选择性硬化，非常适合光刻。使用该系统,光刻胶可以在受控环境中使用自动控制单元进行曝光、开发和剥离。TEL Clean Track Mark 8是一个模块化平台，有一个可根据需要安装的房间选择。这样就可以进行多种类型的加工，如防腐涂层、预烤、曝光、曝光后烘烤、开发、剥离、干条等。该机还能够进行高精度的局部蚀刻，因为曝光工具使用步进和重复对准的激光束。该工具保持了极高的工艺产量，设计用于尽量减少消耗化学品和晶圆清洁用品等消耗品。其自动监控资产保持了最佳的工艺条件，对工艺数据进行实时分析以进行故障排除和维修。通过高级预防性维护,它最大程度地减少了停机时间,并提供了一系列从工艺缺陷或磨损相关问题中恢复的能力。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8还拥有一系列功能以确保无粒子生产。其晶圆加热模型和循环器设计为防止腔内冷凝和自动滤波器旋转设备防止滤波器堵塞。室内有一系列的洗涤刷和辐射加热器，系统在剥离过程中含有颗粒。CleanTrackMark 8是一种高效可靠的光刻装置。它的模块化设计使用户能够根据自己的特定工艺需求定制解决方桉,而其高精度激光对准有助于确保最高质量的产量。其先进的预防性维护和颗粒保留特性阵列使其成为半导体生产的宝贵机器。