二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9158018 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8（CTM-8）是一种光阻设备，设计用于提供半导体材料的高分辨率、高速阵列。它提供了广泛的特性和功能,使其适合各种用例。CTM-8由涂层站和开发站两个主要部分组成。涂层站由一个基板装载系统、一个加热真空室、一个抗蚀性涂层头和一个输送机单元组成，用于将基板从装载机运送到开发站。开发站包括一个加热的真空室、蚀刻源和一个单独的基板运输工具，在两者之间移动基板。该CTM-8配备了高分辨率光学成像资产，能够产生低至0.2 μ m的图像分辨率。这样就可以精确、高精度地设计精致的材料。该模型还提供了精确的基板对准，从而能够快速、精确的图样。此外，CTM-8还配备了自动清洗工艺，可有效清除蚀刻基板上的残留物。该CTM-8旨在优化光刻涂层工艺。它结合了专有的Resist Control功能，允许用户精确监控和控制所应用的抵抗剂的厚度。这样可以确保在每个进程运行期间都能获得可重复、可靠的结果。此外,该设备还具有智能配置文件控制功能,可帮助维护均匀的抵抗线配置文件。该CTM-8还设计用于提高操作和维护性能。它包括一个内置气体回收系统，有助于减少气体消耗，从而提高可操作性。此外,该单元还包括一台快速更换的喷嘴机,可简化喷嘴维护,减少停机时间。此外,该工具还包括一个菜单驱动的操作员界面,以实现快速、轻松的操作,以及用于远程故障排除的远程访问功能。总体而言,TEL Clean Track Mark 8为用户提供了可靠、健壮且高性能的光刻胶处理解决方桉。该CTM-8具有高分辨率的光学成像资产和对抗蚀性涂层工艺的精确控制，是半导体制图的理想选择。此外,它的自动化维护过程和用户友好界面使其成为任何应用程序的绝佳选择。