二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9227383 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8
ID: 9227383
晶圆大小: 8"
Inline developers, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是一种光致抗蚀剂设备,用于创建高分辨率基板,为半导体行业开发和使用。它是当今市场上可用的最全面的光刻系统之一,使用户能够为大规模生产应用创造晶圆和基板。TEL Clean Track Mark 8系统使用先进的光刻胶涂层、薄膜金属层和通孔处理技术,产生明显较小的线条、通气和接触。它允许用户以极高密度生产3维特征,按照精确的标准生产精密的零部件。该装置能够使用193 nm深的紫外线产生1.5、2.5和10微米的分辨率。这台机器能够对直径达400毫米的晶片进行制图,使其能够覆盖甚至最大的基板。该工具还具有内置的边缘检测器,使其能够快速、准确、无缝地检测基板边缘。该资产具有高精度的舞台和自动聚焦能力,甚至可以创建最精细的基板。TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8也允许多层同时被图样化,允许更快的生产速度和更少的步骤来建立複杂的底物。该模型还配备了先进的工艺控制软件,使用户能够在生产的整个沉积和蚀刻阶段监测和调整参数。然后可以使用这些数据来促进产量和生产速度的提高。最后,Clean Track Mark 8包括自动测量和对齐系统,使整个生产过程中的参数监控更加容易。这些系统还允许更严格地控制过程,允许创建更精确的基板。总之,TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是一种先进的光致抗蚀剂设备,能够制造出即使是最优秀和最复杂的底物。它结合了先进的材料工程、光子技术和工艺控制软件,使用户能够以经济高效的方式生产出高精度和可靠的基板。
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