二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9238274 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是一款最先进的光致抗蚀剂设备，设计用于大批量制造和检查薄膜器件。它能够对晶片光刻应用中的化学材料进行精确、精确的处理。Mark 8具有全自动喷涂和晶片处理系统，利用精确的测量和控制来产生精确的表面涂层和暴露在晶片上的抗蚀剂。Mark 8是一个单源的光致抗蚀剂单元，使其能够执行整个光致抗蚀剂流动和基板制备过程。这包括预清洁、晶片加工和光阻材料的沉积。其先进的搜索和对准机器设计，以确保光掩模精确对准相应的图样在光刻层。此外，其光学区域检测系统能够识别光刻胶薄膜结构中的细微误差，从而确保工艺的质量和准确性。Mark 8的先进技术确保了它能够精确处理多种薄膜光刻胶材料，如聚合物抗蚀膜、聚酰亚胺膜和光刻胶油墨。因此，该工具可以轻松地执行复杂的光刻任务，如蚀刻、沉积、成型和石刻。再者，Mark 8还包括多个晶圆操作和功能，允许额外的灵活性和多功能性。该资产适用于范围广泛的模式，从纳米到微米尺度。为确保图样的精确度和可重复性,Mark 8采用了先进的热管理技术和极低电压驱动模型,从而避免了晶圆表面可能受到电气损坏的风险。另外，晶圆表面可以通过Mark 8热板的温度控制来调节，进一步提高其精度和可靠性。总体而言,TEL Clean Track Mark 8是一款先进的光刻设备,旨在为各种光刻应用精确处理薄膜光刻材料。它的自动化过程和精确的晶圆处理确保了微米和纳米尺度的晶圆能够实现准确和可重复的模式。
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