二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9250395 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是一款具有微传输和高性能晶圆处理系统的光刻设备。它能够进行高达300毫米晶片的高质量光敏处理。TEL Clean Track Mark 8单元提供了一套循环真空兼容性的选项，适用于干条/蚀刻、清洁、蚀刻和旋转涂层等多种应用。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8旨在提供优越的晶圆对准精度、可靠性和有效载荷直至目标。机器的高速对准工具可以安全传输,而不会造成晶圆损坏。资产还具有独特的结构，不需要浮动轨道，消除了晶圆在转移晶圆时夹紧的问题。Clean Track Mark 8模型的微传输基于旋转平台，能够同时传输多个晶圆，从而增加了过程吞吐量。该设备还配备了高速、高分辨率摄像头，以确保光刻胶精确对准和定位到晶片上。相机配备了能够检测微小模式变化的成像系统，非常适合生产先进的图样化设备。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8单元的另一个特点是其高端晶圆处理机。该工具允许同时加载和卸载多个晶片,以最大程度地降低过程的成本和时间。该资产还提供自动剪切和石英切割，以及自动批处理。这允许从初始阶段到最后阶段对晶片进行高效处理，节省时间并提供高效的过程控制。该模型还提供高级工具和生命周期服务,以实现高效的过程控制。这些包括流程监控、流程验证和流程诊断。此外,TEL Clean Track Mark 8设备还具有集成过程模拟软件、SOP和配方管理系统以及预测性维护单元。最后，TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8机通过其全面的安全特性，帮助优化所有光刻胶工艺的精度和安全操作。这些特性包括压敏玻璃晶片卡盘、安全旋转门、互锁以及许多其他安全特性。这些功能确保操作员的安全,并提供可靠性和性能。