二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9250396 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8是一款革命性的光刻设备，专为干蚀刻应用而设计。该系统采用了一种新颖的工艺，与传统的湿蚀刻工艺相比，具有两倍以上的精度和极均匀性。TEL Clean Track Mark 8由一个两室单元组成，该单元包含一个大气压处理室和一个专用的抗蚀剂清除室。使用位置和蚀刻装载机将光刻胶自动放置在基板上，从而可以在蚀刻过程之前对蚀刻过程进行独立的优化。该工艺室的真空水平低至0.1毫巴，并结合使用等离子体气源和输入气源。等离子体气源用于在蚀刻前对基板表面进行氮化处理，输入气源用于产生等离子体能量，用于与光刻剂反应并蚀刻基板。该工艺室的独特设计具有专利的"直接驱动"功能，不需要该室的外部电源。这台机器还设计用于减少蚀刻过程中产生的不需要的颗粒，确保清洁和均匀的蚀刻。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8还具有先进的耐化学不锈钢材料室设计。这种设计消除了交叉污染，并消除了室内材料的长期腐蚀。腔室具有独特的密封性，以防止任何气体或颗粒泄漏，确保蚀刻过程的性能。此外，室内温度调节，确保一致的蚀刻结果。Clean Track Mark 8的控制工具具有高级图形用户界面（GUI）和易于远程访问的维护和分析功能。该资产允许对温度、压力、电流和气体浓度等工艺参数进行监控。通过这些控制，可以对蚀刻参数进行过程追踪和数据记录，从而优化蚀刻过程。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8的设计考虑到安全和环境，包括还原释放到大气中的挥发性有机化合物（VOCs）。通过经济的设计,该模型需要更少的能源并降低操作成本。总体而言,TEL Clean Track Mark 8是一款革命性的光刻设备,专门为干蚀刻工艺设计,为用户提供准确、一致的结果。该系统的先进设计使TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8成为那些希望改进其蚀刻工艺的人的可靠、经济高效的选择。