二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9266470 待售
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ID: 9266470
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
(1) Coater / (2) Developer system, 6"
Dual block
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8是一种光刻设备,设计用于半导体晶圆上的先进光刻操作。该系统旨在超越目前的生产能力标准,实现始终如一的高质量光刻操作。TEL Clean Track Mark 8具有先进的图像捕获功能,即使是最小和最复杂的光刻蒙版也能实现高分辨率成像。此单元旨在集成到现有的TEL系统中,以显着减少周期时间和维护要求,降低成本并提高客户价值。光刻机还配备了一个用于无与伦比的光刻成像的高度先进的镜像工具,以及一个获得专利的电动级资产,允许晶圆的精确和易于操作。该型号还配备了刚性框架设计,能够快速更换零部件,以加快维护和维修。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8还提供了先进的软件体系结构,能够快速集成新技术,并具有最高的精确度和有效性。该设备是自动化的,并对光刻胶厚度和抗蚀层完整性进行连续监控,有助于保持一致的高分辨率成像,而不会影响速度或准确性。该系统还支持多种光刻胶以适应各种工艺要求,包括深紫外线、ArF浸泡和步进扫描。此外,该单元的高级设计允许高度的操作灵活性,允许用户定制以适应各种生产规模和基材。创新的设计还确保了更新的工艺参数可以轻松集成到机器中,而不会降低性能。该工具支持各种功能块的基座,具有专用内存和嵌入式32位处理器,以获得最大的灵活性和性能。综上所述,Clean Track Mark 8是一种先进的光刻胶资产,旨在超越和超越目前的生产能力标准,同时也实现了始终如一的高质量光刻操作。此模型提供了高度先进的镜像设备、获得专利的电动舞台系统和自动化软件体系结构,从而减少了周期时间和维护要求。此外,该单元支持灵活的定制设置,以适应各种生产规模和基材。这些特性加上坚固的结构和灵活性,使得TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8成为先进光刻操作的理想选择。
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